目前已經(jīng)廣泛運(yùn)用的清洗辦法首要有濕法清洗和干法清洗。濕法清洗的局限性非常大，從對(duì)環(huán)境的影響、原材料的耗費(fèi)及未來(lái)的開(kāi)展考慮，干法清洗要明顯優(yōu)于濕法清洗。其中開(kāi)展較快和優(yōu)勢(shì)明顯的是等離子體清洗。
等離子體是指電離氣體，是電子、離子、原子、分子或自由基等粒子組成的集合體。清洗時(shí)高能電子碰撞反應(yīng)氣體分子，使之離解或電離，運(yùn)用產(chǎn)生的多種粒子轟擊被清洗表面或與被清洗表面產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，從而有用地*各種污染物；還能夠改進(jìn)材料本身的表面功用，如前進(jìn)表面的潤(rùn)濕功用和改進(jìn)膜的粘著力等，這在許多運(yùn)用中都是非常重要的。
經(jīng)等離子清洗后器件表面是枯燥的，不需要再處理，能夠前進(jìn)整個(gè)工藝流水線(xiàn)的處理效率；能夠使操作者遠(yuǎn)離有害溶劑的損傷；等離子能夠深入到物體的微細(xì)孔眼和凹陷的內(nèi)部完結(jié)清洗，因而不需要過(guò)多考慮被清洗物件的形狀；還能夠處理各種質(zhì)料，特別合適不耐熱以及不耐溶劑的質(zhì)料。這些利益，都使等離子體清洗得到廣泛重視。
等離子清洗分為化學(xué)清洗、物理清洗及物理化學(xué)清洗。針對(duì)不同的清洗對(duì)象可挑選O2、H2和Ar等藝氣體進(jìn)行短時(shí)間的表面處理。
1.1化學(xué)反應(yīng)為主的清洗
運(yùn)用等離子體里的高活性自由基與材料表面的有機(jī)物等做化學(xué)反應(yīng)，又稱(chēng)PE。選用氧氣進(jìn)行清洗，使非揮發(fā)性的有機(jī)物變成易揮發(fā)的形狀，產(chǎn)生二氧化碳、一氧化碳和水?；瘜W(xué)清洗的利益是清潔速度高、挑選性好和對(duì)清洗有機(jī)污染物比較有用，首要缺點(diǎn)是生成的氧化物可能在材料表面再次形成。在引線(xiàn)鍵合工藝中，氧化物是不希望有的，這些缺點(diǎn)能夠通過(guò)恰當(dāng)挑選工藝參數(shù)進(jìn)行防止。
1.2物理反應(yīng)為主的清洗
運(yùn)用等離子體里的離子做純物理的碰擊，把材料表面附著的原子打掉，也稱(chēng)為濺射腐蝕（SPE）。選用氬氣進(jìn)行清洗，氬離子以足夠的能量轟擊器件表面，碰擊力足以去除任何塵垢。聚合物中的大分子化學(xué)鍵別離成小分子而汽化，通過(guò)真空泵排出。一同通過(guò)氬等離子清洗后，能夠改動(dòng)材料表面的微觀形狀，使材料在分子級(jí)范圍內(nèi)變得更加“粗糙”，可大幅改進(jìn)表面活性，前進(jìn)表面的粘結(jié)性能。氬等離子的利益是收拾材料表面不會(huì)留下任何氧化物。缺點(diǎn)是可能產(chǎn)生過(guò)量腐蝕或污染物顆粒重新積累在其他不希望的區(qū)域，但是這些缺點(diǎn)可通過(guò)細(xì)調(diào)工藝參數(shù)得到操控。
1.3物理化學(xué)反應(yīng)一同存在的清洗
反應(yīng)中物理反應(yīng)與化學(xué)反應(yīng)均起重要作用的清洗。如選用Ar和O2的混合氣體進(jìn)行在線(xiàn)式等離子清洗過(guò)程時(shí)，反應(yīng)速率比單獨(dú)運(yùn)用Ar或O2都要快。氬離子被加快后，產(chǎn)生的動(dòng)能又能前進(jìn)氧離子的反應(yīng)才干，因而用物理化學(xué)辦法可*污染較為嚴(yán)峻的材料表面。
